为了提高碳化物靶溅射薄膜的结晶程度和相应的力学性能，采用等化学计量比的vc靶（n（c）：n（v）=1：1）和富v的vc靶（n（c）：n（v）=0．75：1）通过磁控溅射方法制备了一系列vc薄膜，利用eds、xrd、sem和微力学探针研究了靶成分、溅射气压和基片温度对薄膜化学成分、微结构和力学性能的影响．结果表明，对于等化学计量比的vc靶，在ar气压为2．4-3．2pa的范围内可获得结晶程度和硬度较高的vc薄膜，超细碳化钒，其硬度为28gpa．而采用富v的vc靶时，在较低的ar气压（0．6-1．8pa）下就可获得结晶程度高的vc薄膜，其硬度达到31．4gpa．可见，相对于溅射参数的ar气压和基片温度，靶的成分对于所获薄膜的成分、微结构和力学性能影响更---，纳米碳化钒，因而适当提高靶中金属组分的含量是获得结晶---且具高硬度的vc薄膜更为有效的途径．
为了研究在超细wc粉的制备过程中，碳化钒(vc)添加对超细碳化钨(wc)粉末粒度和相形成的影响，碳化钒，对不同vc添加量和不同碳化温度下制备的超细wc粉末的粒度、相成分和微观形貌进行了分析。研究结果表明:在1400℃碳化时，当碳化钒的添加量由0%增加到10%时，wc的bet粒度由0.274μm降到0.159μm，wc粉末单颗粒粒度在逐渐减小，碳化钒报价，wc粉末颗粒的---程度增加。随着碳化钒的添加量的增加，碳化钒相衍射峰强度增大，wc的衍射强度降低。此外，碳化温度提高到1600℃时，wc粉末的bet粒度增大，vc晶粒结晶更完整。
本文分析了碳化钒由无序相转变为有序相转变的热力学问题，建立了基于碳化钒中不同类型键相互作用与熵值和自由能的函数关系，求解了碳化钒由无序相转变为有序相转变后碳原子和空位的有序度，结合粉末的dsc的测定曲线和xrd衍射分析表明:在t=1 515 k时，碳化钒粉末存在有序-无序相变，其具有一阶相变特征，有序度将由0.23突变为0。
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